一. 半導體制造行業存在的電能質量問題
半導體是許多工業整機設備的核心,普遍應用于計算機、通信、消費電子、汽車、工業/醫療、軍事/政府等核心領域。 半導體制造工廠關鍵設備多、大規模使用電力電子器件、工藝步驟繁多復雜,其供配電系統穩定、可靠的運維不僅是其安全生產的基本保證,還關系到產品質量和生產的順利進行。

二. 半導體制造諧波從哪里來
半導體制造的生產設備中的單晶爐、多晶爐、IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導體機臺都會產生大量的諧波。大多數單晶爐是采用中頻感應電源加熱的工作方式,中頻電源的主電路包含整流、逆變電路,產生的諧波以5次、7次、11次、13次為主,并且諧波電流畸變率通常為30%以上,諧波電流畸變率很高。
三. 半導體制造諧波的痛點
半導體制造業屬于資金和技術高度密集的精密制造行業,生產過程要求環境潔凈度高,大規模使用電子器件和集成電路且自動化程度比較高,集成電路芯片制造關鍵設備多、工位器具多、工藝步驟繁多復雜。除供配電系統外,還需傳送系統、超純水凈化系統、真空系統、氣冷風冷系統、特殊氣體分配系統來保證生產過程的順利實施以及關鍵設備的安全運行。由于整個工廠的生產條件最終通過電能供給來實現,因此半導體芯片制造對供電質量要求特別高。
單晶爐等設備產生大量的諧波,它們不但會造成機臺設備自身的壞機現象,回流進電網的諧波電流還會引起其它回路的發熱、電子開關誤動作、供電電壓不穩,甚至引起生產線停線、半成品的報廢,造成損失會非常大。
四. 半導體制造諧波治理方案
希形科技EasyPQ-APF系列有源濾波器可治理2-50次諧波,對低次諧波(13次以內諧波)諧波濾除率可以達到95%以上。半導體制造業產生大量諧波,主要以5次、7次、11次、13次為主,希形科技EasyPQ-APF系列有源濾波器可以全面治理這些次數諧波,使配電系統電能質量大大提高,保障用電及生產安全。
半導體制造業通常采用集中治理的濾波方案,將APF有源濾波器安裝在配電系統電力干線上。